光刻机模型激光一次成型技术
民科吧
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level 15
伊二三四五♋7
楼主
接触式掩膜技术缺点太多,不如直接发射一束需要的形状的激光进行光刻。
把 激光上面的全反射膜印成需要的模型,比如现在印个“光”字,激光直接发射一个“光”字型激光,用凸透镜缩小,曝光在晶圆上
2021年04月05日 15点04分
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level 14
6号小童鞋
小伙子,早点睡明天还要起来搬砖
2021年04月05日 15点04分
2
吧务
level 15
绮梦璇😾
光不能无限聚焦,下一个
2021年04月05日 16点04分
3
.不吃早饭.
@伊二三四五♋7
额,找一本激光原理,了解一下束腰这个概念
2021年04月07日 10点04分
绮梦璇😾
@伊二三四五♋7
笨蛋,衍射极限了解一下
2021年04月05日 21点04分
绮梦璇😾
@伊二三四五♋7
所以说你是笨蛋
2021年04月07日 07点04分
伊二三四五♋7
激光是平行光,只要聚焦到超过台积电的技术就行了
2021年04月05日 16点04分
level 1
ZETIJI
那么粗的激光上哪整
2021年04月05日 16点04分
4
伊二三四五♋7
不需要这么粗,我画个图意思到了就行,不用太在意图片中的比例
2021年04月05日 16点04分
level 15
伊二三四五♋7
楼主
当然,这些器材的加工精度要求肯定非常高,而且工作过程中应该是无人操作,无尘环境
2021年04月05日 23点04分
5
level 13
🌊我的问我的梦
你这个是早期的90年代做印刷,用于手表表面的腐蚀工艺之间的一种工艺,当时的手表精细都是用放大器先在暗房中完成,后来有输出机这种工艺就淡出舞台了。
2021年04月06日 01点04分
10
贴吧用户_51NZXC8
@伊二三四五♋7
人做永动机的都比你这做光刻机的实在😅
2021年04月07日 06点04分
伊二三四五♋7
就你做永动机的,还是省省吧,别在我的贴子里评论
2021年04月06日 04点04分
level 9
蓝调星魂
正好之前做过类似的设备,包括低端光刻机(1微米)左右和激光划线机(0.02毫米),从曝光工艺和激光工艺上边,给你说说两者的区别:
光刻机是靠光源垂直工件固定不动来保证精度,工件固定,每次定位精度就是夹具的弹性变形,而且夹具的弹性变形其实不需要考虑,一次曝光不仅是曝光出电路,还有后期的切割线、定位靶标,只要母板精度够用,靶标与电路的距离永远是固定的,后续切割并不需要这么高的精度。
激光发射的光束,靠运动部件带动激光头行走来实现划线。
首先它不可能无限聚焦,而且受距离变化焦距变化大,也就是说带动激光头行走的部件(龙门或手臂)与放置工件的工作台要足够的平行且平面度要足够的好,不能磨损,单说平行度,我们能够实现的平行度,1米平台5微米平行度差不多是极限,足够影响激光焦点放大一倍了。
第二激光是靠高温溶化材料实现划线的,由此引发两个问题:划线粗细受速度和温度影响非常大,速度变低激光的光斑马上变大,激光温度变化也会影响划线粗细精度。实际上现有高精度激光全部都是脉冲式的,也就是打出来一个个圆点组成一条线,再连成面,划线速度慢,粗细保证不了,划线快会出现线连不起来中间有短路情况。
第三就是精度,精度分两方面、运动精度和震动精度。震动精度大家都能想出来,我只说运动精度,目前以人类能做到的运动部件精度,最精密的滚珠丝杠或直线电机,能达到±2微米,实际组装效果±3微米,这个是极限,看似可以满足精度要求,实际上是不考虑废品率,一般高精度运动部件都会因为卡滞没走到位产生精度不良,好的情况80%,设备造出来就有80%报废这个没办法解决,另外运动精度划出来的定位线、靶标并非绝对准确,后续检查相当麻烦。
第四是效率,曝光机的工作方式是工件进入,一次曝光大概也就几十秒,然后传输机构再送出来就完事了,激光划线机要不停的运动刻,没个一两个小时搞不定,效率相差几十倍甚至上百倍,哪怕是多台设备同时处理也追不上速度,造成产品成本高,另外多台设备一至性不好。
其实纵观光刻机,道理大家都能想明白,我对光刻机的理解:相对激光来讲工艺方式没有问题,机械精度国内现有技术和材料差不多都能满足,差距在光源和反射(折射)板上,差距有多大呢?民用LED灯珠大部分靠进口,低于400nm波长的灯珠需要国外封装,低于360nm灯珠国内没有任何技术,甚至连波长检测仪表都需要进口,更别说极短波紫外线和垂直光源了,多年之前有幸去过南京第一有机光电参观,只能说我们正在努力,离光刻机需要的光源来差一大截,目前全世界能做到的好像只有尼康跟佳能。反射板更不用说了,从材料到研磨精度都没办法实现。
但是话又说回来,光刻机方面能不能实现弯道超车?答案是肯定的。
给大家讲个真实例子:液晶显示器(包含液晶电视、计算器液晶屏等)行业,从03年的国内零到06年国家推动建设8.5代线,到16年中国京东方一家液晶显示器占全球60%市场份额(其实16年国内还有TCL、长虹……)只用了短短10年的时间。对于我们来说,能花钱搞定的问题都不是问题,要看付出多大代价。
2021年04月06日 03点04分
13
伊二三四五♋7
你既然是专业的,还没看出我设计的重点吗?我的设计曝光时是不动的,这样更能保证精度,所以我为什么要说模型激光?重点在把需要的电路设计在激光器的全反射膜那,就是说,需要曝光哪些地方,就印什么全反射膜的图案,恐怕你们试都没试过这方法吧?
2021年04月06日 04点04分
伊二三四五♋7
你们的机器,还要不停移动激光器来光刻,如果机器精度不够,材料强度不够,是很容易磨损,出现误差啊
2021年04月06日 04点04分
伊二三四五♋7
可以说,只要保证了激光器和镜头的精度,我的设计就能保证单一一块芯片的精度了
2021年04月06日 04点04分
蓝调星魂
@伊二三四五♋7
怎么保证?别想啥是啥了,怎么能实现激光器不动?你不觉得激光器不动精度实现起来比激光头动还难?
2021年04月06日 05点04分
level 1
冰淇淋b7l🍦
你说得对,不过接触式光刻已经是淘汰很久的技术了,后来发展了接近式,扫描投影,分步重复光刻,到最先进步进扫描式要不你都去了解下
2021年04月06日 18点04分
14
level 1
life彼岸花55
透镜有畸变,还有能量吸收,人家用的都是反射镜,每一次放射都还会损失大量能量呢。
2021年04月06日 23点04分
15
伊二三四五♋7
只是说一下原理,至于用什么镜还有待确定
2021年04月07日 00点04分
level 13
Flying🍁
建议先从几何光学开始学习,比如用ZEMAX先设计一下看看激光光斑能不能达到要求的说
2021年04月07日 02点04分
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伊二三四五♋7
你起码是针对性的评论,其他人基本是看第一句最没用的话就开始评论
2021年04月07日 04点04分
伊二三四五♋7
有问题肯定要想办**服
2021年04月07日 04点04分
伊二三四五♋7
@伊二三四五♋7
法,克
2021年04月07日 04点04分
liiilllliiiIIl
@伊二三四五♋7
只要学一下衍射极限的概念你就明白技术没你想的那么简单
2021年04月07日 05点04分
level 1
恒运兴通
老汉我不懂什么技术,但看你们对楼主冷嘲热讽的评论,证明你们素质确实不高
2021年04月07日 03点04分
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霰弹猫
这就是你为什么不懂技术的原因
2021年04月07日 08点04分
恒运兴通
晦气,居然遇见你这种**!
2021年04月20日 09点04分
恒运兴通
回复 白嫖不可能的 :无能嘴炮 **
2021年04月07日 22点04分
恒运兴通
回复 白嫖不可能的 :***了
2021年04月08日 05点04分
level 1
血肉苦若
楼主说的对
2021年04月07日 04点04分
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伊二三四五♋7
看出来先进的技术工艺了吗?
2021年04月07日 04点04分
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