光刻机里面含有激光技术，而激光离不开倍频晶体，比如KBBF晶 - 光刻机吧

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冰🍁落楼主

光刻机里面含有激光技术，而激光离不开倍频晶体，比如KBBF晶体。它可以将激光转换成深紫外激光，从而可以制造出深紫外固体激光器。中国在这方面应该是有垄断地位的，为什么荷兰光刻机里面没有中国的晶体技术？那位解答下。

2020年07月30日 23点07分 1

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刀剑势力

别人的紫外光源不是用这个技术。。

2020年07月31日 02点07分 2

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光刻机汞灯

KBBF的紫外光，波长是多少？

2020年07月31日 09点07分 3

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z0y0y02000

你说的那个是激光制导武器用的，不是一个东西

2020年08月01日 03点08分 4

冰🍁落

1百多纳米，激光制导不需要那么高的精度的。

2020年08月01日 11点08分

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老年中医

激光器中国并不领先，你可以去看看锐科激光和大族激光研报，前者是国内№1，正在追赶美国；后者不过是设备商，上游的大功率激光器全是美国的

2020年08月01日 07点08分 5

老年中医

@冰🍁落激光器的核心三大件是泵浦源、工作介质和共振腔，不是单一材料能搞定的。此外，LSBO晶体是专门用于固体激光器的，而固体激光器还没有在EUV光刻机中使用过，ASML光刻机的EUV不是固体激光器，是串联的CO2激光器。

2020年08月03日 07点08分

冰🍁落

但是类似于KBBF倍频晶体，16年美国才研发出来，16年，中国都已经研发新一代LSBO晶体了。

2020年08月01日 11点08分

2b_luo

@老年中医一个是co2激光器，一个是固体激光器？是这意思吧

2020年08月08日 14点08分

亮瞎你的大惩戒

@冰🍁落那家公司是上市公司，叫福晶科技，在回答投资者问题时说他有哪些客户是商业机密，有没有谁知道呢

2020年08月09日 09点08分

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奇幻森林的鹿ლ

人家就没有带你玩，你再先进也没有用

2020年08月01日 15点08分 6

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淳于浩浩

asml的那个光源是用紫外光去击中下落途中的液体金属，从而产生13.5nm的极紫外光，但是衰减非常严重，从发出光线到最后出光会衰减掉98%，也就是只有2%的光强度最后用来光刻。所以要求输入端功率要提高到100倍，主要是这个大功率的激光器没有突破，然后其他的还有镜头组啊，超精度的机械臂什么的。然后大功率的激光器还需要非常强大的散热系统才行。

2020年08月01日 19点08分 9

淳于浩浩

说错了，不是100倍功率，是5万倍，因为euv的效率只有0.02%，asml输出的功率是250瓦，但是需要输入0.125万千瓦功率，也就是12500000瓦。

2020年08月01日 21点08分