看了论文不是很懂，要让直径为 46 μm, 密度为 6.9 g/cm3的球形Sn液滴靶产生的等离子体达到最优的13.5 nm（ 2%带宽内）的EUV光，那么就要让离子体中Sn11+—Sn14+离子占主导, 即等离子体温度须达到30 eV左右。
目前ASML用的光源是co2 -激光驱动等离子体，但功耗高，成本高。国内为了寻找成本更低的打靶方案，实验普遍都是用Nd:YAG激光来打靶，但转化效率上不去，即使是林楠团队做的实验出来的CE值也仅到ASML可商用的一半多点点。咱们是不是走错路了？？？？