comsol磁控溅射
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铁叭又封我号😇 楼主
不明白为什么跟文献有那么大差距。
同时也不明白这个约化直流电子迁移率是什么东西，我按照默认来的。
我这个肯定不对，电子密度老是跑偏，不在靶面上。数值上跟别人也差着数量级呢。
2025年04月10日 07点04分 1
level 9
铁叭又封我号😇 楼主
看着就想嗷嗷吐
2025年04月10日 08点04分 2
level 9
铁叭又封我号😇 楼主
等离子体使用电场迁移，计算离子传递属性张量，使用约化电子传递属性，计算电子传递属性张量
2025年04月10日 08点04分 3
level 9
铁叭又封我号😇 楼主
靶面上的氩离子分布，很像靶的刻蚀环
2025年04月10日 08点04分 4
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张玉米改名
参考论文的名称是什么？
2025年05月06日 05点05分 5
只爱你想你
@铁叭又封我号😇 对我也做磁控溅射的，加个好友讨论一下？
2025年05月07日 11点05分
铁叭又封我号😇
Monte Carlo simulation of deposition uniformity in the triple-target magnetron co-sputtering system
2025年05月06日 05点05分
铁叭又封我号😇
硕士论文：磁控溅射粒子输运过程模拟与沉积均匀性研究。你也做磁控溅射吗？
2025年05月06日 06点05分
铁叭又封我号😇
@只爱你想你 加了加了
2025年05月07日 13点05分
level 1
端章小丑
我也在做磁控溅射，等离子体模块设置磁场，选择mfnc的话，就计算结果只能跑到10ns，但是用户定义的话，就可以仿真成功，楼主遇到过这种情况吗[委屈]
2025年06月13日 01点06分 6
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贴吧用户_54Pt66t
楼主，方便加个微信交流一下吗
2025年12月24日 08点12分 8
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白云苍狗931
太痛苦了，我也也一直要么报错要么有问题
2026年03月08日 15点03分 9
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白云苍狗931
一般来说电子密度是太低就是等离子体没有启辉，反正我模拟他的在0.5pa也起不了辉，增加气压后，电离概率增加，成功形成等离子体，我的在磁场作用下是长这样
2026年04月08日 02点04分 11
level 4
白云苍狗931
然后就是无磁场作用下，我不明白为什么我的电子密度是10的12次，可能电子耗散掉很多吧，但是为什么又能形成等离子体。
2026年04月08日 02点04分 12
level 4
白云苍狗931
最后就是磁场强度了，我感觉我设置参数差不多，但是距离又比他多了4mm才行
2026年04月08日 02点04分 13
白云苍狗931
回复 Stanc3 :等离子体和磁场就行，然后加个粒子追踪，主要还是等离子体麻烦
2026年05月06日 01点05分
HOlyGHost99
@白云苍狗931 大佬 我也想复现这个文章 二维仿真得到氩离子密度之后 怎么得到的那个图5的沉积分布的呢 没看懂[惊哭]
2026年05月27日 01点05分
白云苍狗931
最后说一句，有谁搞comsol磁控溅射的话咱们可以一起交流交流，研究一下
2026年04月08日 02点04分
Stanc3
大佬牛逼 我现在正在学习comsol磁控溅射镀膜这方面内容 请问要用到哪几个模块
2026年04月10日 07点04分
level 4
白云苍狗931
我做了一个动态照片模拟建设粒子沉积的，不知道贴吧能不能看见
2026年06月01日 13点06分 14
HOlyGHost99
这个图不动欸
2026年06月02日 05点06分
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