comsol磁控溅射
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不明白为什么跟文献有那么大差距。
同时也不明白这个约化直流电子迁移率是什么东西,我按照默认来的。
我这个肯定不对,电子密度老是跑偏,不在靶面上。数值上跟别人也差着数量级呢。
2025年04月10日 07点04分 1
level 9
看着就想嗷嗷吐
2025年04月10日 08点04分 2
level 9
等离子体使用电场迁移,计算离子传递属性张量,使用约化电子传递属性,计算电子传递属性张量
2025年04月10日 08点04分 3
level 9
靶面上的氩离子分布,很像靶的刻蚀环
2025年04月10日 08点04分 4
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参考论文的名称是什么?
2025年05月06日 05点05分 5
@铁叭又封我号😇 对我也做磁控溅射的,加个好友讨论一下?
2025年05月07日 11点05分
Monte Carlo simulation of deposition uniformity in the triple-target magnetron co-sputtering system
2025年05月06日 05点05分
硕士论文:磁控溅射粒子输运过程模拟与沉积均匀性研究。你也做磁控溅射吗?
2025年05月06日 06点05分
@只爱你想你 加了加了
2025年05月07日 13点05分
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我也在做磁控溅射,等离子体模块设置磁场,选择mfnc的话,就计算结果只能跑到10ns,但是用户定义的话,就可以仿真成功,楼主遇到过这种情况吗[委屈]
2025年06月13日 01点06分 6
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楼主,方便加个微信交流一下吗
2025年12月24日 08点12分 8
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