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中国芯吧
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level 11
傲气凌神经 楼主
能实现28nm节点的浸润式光刻机，今年初通过验收，正在某产线上进行跑通调试，个人估计可开出良率。
今后一段时间国产浸润式光刻机的工作重点，逐步代替产线上单次曝光层，释放asml光刻机给关键逻辑层实现7nm节点扩产，最终全面代替asml。
euv光刻机：光学、工件台、超净真空腔、软件预计今年走通，准分子激光源和euv光源明后年到位，2028年a机上线，2030年实现合理量产
2025年03月05日 11点03分 1
level 6
贴吧用户_ab9J991
28nm节点在22年就在产线上跑了
2025年03月05日 12点03分 2
level 9
棠张冀北
瞎猜，浸润式和e都没这么慢
2025年03月06日 02点03分 3
level 11
rahxe
只能说太过于保守
2025年03月06日 05点03分 4
level 9
meego_cn
和陈卫东、丁程远去年学术交流会议上表述的情况能贴合上。
希望接下来进展顺利，不要出什么***一锅端之类的幺蛾子。
2025年03月06日 06点03分 5
level 1
石之门的选择💯
关于28nmduvi，很多消息表明22年就已经测试了，之前传言的XX验证通过应该就是去年的讲座的2Xnm光刻机通过测试了，不过23年的说法是国产duvi双工作台就比2100i落后一代，所以估计这个2Xnm光刻机应该就是duvi2，对标1980/2000i,最终目的是扩产
2025年03月06日 13点03分 6
幸运年😄
去年中国光谷会议里说的是测试中
2025年03月06日 23点03分
石之门的选择💯
@幸运年😄 去年说的是2Xnm，感觉不是简单的28nm光刻机，感觉是原有28nm光刻机升级版
2025年03月08日 04点03分
level 1
石之门的选择💯
所以23年末张江公众号那个应该是没错的，因为交付不等于可以商业化生产，必虚经过产线验证才能通过。
2025年03月06日 13点03分 7
rahxe
上一年都有不同的信源说最快今年最晚明年上EUV了，还有人在扯2030年。实际上，知道的不会说，不知道的所谓业内人士，也不准确。2030年国产EUV都是好几年前的国家目标了。2025的基本都提前完成了，竟然会觉得4、5年前的规划还会按时完成而不是提前完成
2025年03月08日 04点03分
rahxe
@石之门的选择💯 说到底，有些人还以为能收到消息的时候还是原型机阶段。有些人以当初asml EUV产业进度推断国内进度。asml以及它的供应商，确定他们的研发人员会加班？年假没有一个月以上？用这种进度推断国内加钱加班的进度？
2025年03月08日 04点03分
level 1
石之门的选择💯
不过现在最大的问题就是北方华创，中微半导体等国产其他芯片制造设备以及上微官方公布的7nm位移校准器到底适配的是啥，因为目前看华为的7nm芯片用的还是asml的位移平台
2025年03月06日 13点03分 8
level 12
幸运年😄
要尽快，不能再拖了
2025年03月06日 23点03分 9
level 6
商太祖成汤
[汗]莫名其妙的对浸润式那么热衷我不知道为什么？
去年都有消息说euv的进度要快于浸润式duv，没人信。
现在euv小道消息遍地飞了，还搁这没可能[黑线]
是什么情况你们这么敌视EUV？
2025年03月08日 03点03分 10
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