reaxff采用氟刻蚀单晶硅 - lammps吧

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shu123456900 楼主

想用reaxff做个刻蚀单晶硅，但找到的参数集H/O/Si/F文章是用在二氧化硅的，用在刻蚀单晶硅的话能用不？
是否有现成的更合适的reaxff呢？

2024年10月28日 08点10分 1