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干式光刻机，浸润式光刻机，euv光刻机不是先后关系，他们的关系大概是:
干式光刻机搞了很多年:歼10最后最后成熟歼 10A
浸润式光刻机（02专项）:歼10B（PESA）
网传的浸润式二代:歼10C(AESA)
当年歼10B出来没多久，AESA也紧随其后搞定了歼10B生产了二个批次50架左右就停了，后面都是歼10C。
EUV相当于是歼20，刚开始首飞都是AL31去飞，各种性能跟不上，也是多年后歼20B才正式完整版，但是即便初代验证版歼20也是碾压歼10C和歼16的，多次对抗就是砍瓜切菜，
我相信国产EUV和歼20差不多，可能哪天美国哪个谁来，他就和歼20一样官宣了
2024年09月19日 13点09分
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不要拿军用研发进度来推断民用科技进度，投入的力度（资金和人力）甚至远远不能和现在半导体设备产业链比。进度超前关键是有大需求（华为），然后才是资金以及人才（全国合力）。h20还没公布，说明投入不够。
2024年09月19日 15点09分
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你再看看我的话啥意思？
2024年09月19日 16点09分
@微微胖老男人♋ 虽然军用进度已经很快了，但我的意思是进度远超军用的
2024年09月19日 23点09分
@rahxe 军用航发一个大代研发时间要二十到三十年，每一次小的叠代改进比如增推增寿版本要5到10年时间。
2024年09月20日 07点09分
@“彩云之南” 慢是因为资金有限，所以时间比较长，真要资金到位，当初苏联 美国那种技术水平，这么短时间都把人送上太空了
2024年09月20日 09点09分
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中兴微、展锐、兆芯、飞腾、申威、龙芯、摩尔线程、壁刃、海光、寒武纪，这些国内的IC设计厂，有几个能承受得住国产半导体设备初期的低良率的？又有哪个对5nm甚至3nm有迫切需求并且需求超过50亿以上的？
2024年09月19日 15点09分
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海思会支持就足够了
2024年09月19日 16点09分
良率低华为都能赢利，华为手机溢价能力高，外加ai芯片利润高
2024年09月19日 16点09分
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中国没有在任何服役军机上用过PESA.是一步跨越到AESA的.
2024年09月19日 17点09分
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歼10B最初就是无源相控阵，不过歼10B后来也换装有源相控阵。歼10B曾经有一架出厂试飞时掉下来过，是俄制发动机的问题。
2024年09月20日 07点09分
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可以这么类比，但说明不了问题。像euv用的真空磁悬浮双工件台，你敢说不是在原来的干式双工件台的基础上迭代优化的？凭空另起炉灶的？要知道，之前是Asml独此一家，尼康都没有，华卓精科是世界范围内的第二家，突然华为和新凯来就悄咪咪的搞定了，还一举突破到最尖端？
2024年09月20日 01点09分
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新凯来很有可能用的是华卓的，新凯来是解决卡脖子的部分，而不是重复造轮子。至于之前传华为挖上微的人，估计是华为等不及它的进度，要加快国产EUV。就目前来看，上微不算慢了，但是华为更急
2024年09月20日 06点09分
没这么说啊，没有的先用次一级的顶着，ws15没有，就用al31顶着，先把原理机或者样机搞出来，先跑起来，慢慢改进 工件台，光源，量测系统，光刻胶，反射镜先组装起来，不能等各自都完美了再集成
2024年09月20日 15点09分
@rahxe 上微真没那么菜，主要是没钱没人，没人还是因为没钱
2024年09月20日 15点09分
@rahxe EUV本来就不是上微负责的，其他厂家的
2024年09月25日 08点09分
level 1
华卓精科的老板2023年还明确了，他们的真空磁悬浮双工件台还在预研阶段。哪怕不懂研发，光从名字听的出什么叫“预研”吧？长春光机所的光源和光学系统确实是有重大突破，但产业化的公司厂房都还要2026建成。上海光机所的二代euv光源尚未突破。一个个子系统都还是研发阶段，你们和我说整机已经上了产线调试，明年就量产3nm。我倒是希望明年自己被打脸，如果被打脸，我会无比欣喜的接着。但从实际情况来看，2027 国产euv能量产都是绝对让人惊喜的壮举。
2024年09月20日 01点09分
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没毛病啊，产线和小批量没关系，华为尊界工厂还在调试，车子出来一百多了
2024年09月20日 02点09分
确实，子部件都还在研发，整机却出来了，只能说夸张，是神秘带来的想象空间
2024年09月20日 02点09分
其实吧，厂房建成预期进度是2026年，但是，实际进度会超前也可能延后。就像中微CEO说的，国产半导体设备产业链比他预想快，也就是说，之前2023公布的资料未必适用于未来2、3年的实际情况
2024年09月20日 06点09分
回复 curlychen1 :长光集智呢？
2024年09月20日 09点09分
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很正常 有点经历的军迷就知道了 ws10的故事 ws10都快到17年才生产定型 到2019年就b c 然后2021年15设计定型 23年就上飞机 很多时候一个点突破 就是全行业加速 再说一下 cj1000这个全世界顶级的 基本挂飞程度 工程就这样 搞出来之前 差距五十年 搞出来了 也就没差距 因为他们不进步
2024年09月22日 10点09分
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WS15是因为WS10C大超预期，回炉重新来过的，所以延期了。CJ1000a达不到顶级，下一代差不多
2024年09月25日 09点09分
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总是幻想军用是另一套产业链，实际上没有民用普及就军用是不可能的。
2024年10月16日 03点10分
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嘿嘿，军用航天买不到，不计成本，
2024年10月16日 06点10分
@微微胖老男人♋ 个别现象而已。是不是军用笔记本也不计成本？
2024年10月16日 06点10分
@溯雪飘飘开雁门 还真是，而且笔记本和光刻机不同，一个是终端，一个是母机
2024年10月16日 11点10分
level 7
底下在质疑什么？题主只是提供一个中国式的研发思路，实际情况可能有区别，但大致方向是不会偏离的。这个又不会被当成制裁证据
2024年10月17日 02点10分
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level 9
应该说国产DUV2和EUV是同年验收通过的，未来官宣也应该是同一年。
3nm以下的先进制程，EUV做关键层，也少不了DUV2做底层金属层
2024年12月23日 04点12分
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