微波能与真空度在-0.08 MPA下，在真空条件下，物料内部水分在低温状态下蒸发。达到低温干燥的目的。它兼备了微波及真空干燥采用微波辐射传导，是介质整体加热，无需其它传热媒介，避免了上述缺点，微波速度快，效率高，干燥周期缩短，能耗降低。与常规干燥技术相比可提高工效四倍以上，克服了常规真空干燥周期长，效率抵的缺点。微波真空干燥设备由微波发生器，真空干燥腔，物料旋转盘，真空系统和电子控制系统组成。