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早在1738年，瑞士人丹尼尔榜首·伯努利以伯努利方程为根底，利用差压法丈量水流量；后来意大利人文丘里研讨用文丘里管丈量流量，并于1791年宣布了研讨结果；1886年，美国人赫谢尔用文丘里管制成丈量水流量的有用设备。
20世纪前期到中期，原有的丈量原理逐渐老练，大家开端探究新的丈量原理。自1910年起,美国开端研发丈量明沟中水流量的槽式流量计。1922年，帕歇尔将原文丘里水槽变革为帕歇尔水槽。
1911～1912年，美籍匈牙利人卡门提出卡门涡街的新理论；30年代,又呈现了讨论用声波丈量液体和气体的流速的办法，但到第二次世界大战停止未获很大开展，直到1955年才有使用声循环法的马克森流量计，用于丈量航空燃料的流量。1945年，科林用交变磁场成功地丈量了血液活动的状况。