大突破！国产5nm刻蚀机通过验证，将用于台积电5nm芯片制造 - 山东泰山吧

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大突破！国产5nm刻蚀机通过验证，将用于台积电5nm芯片制造！
芯智讯
·13小时前

近日，台积电对外宣布，将在2019年第二季度进行5nm制程风险试产，预计2020年量产。与此同时，中微半导体也向“上观新闻”透露了一个重磅消息，其自主研发的5nm等离子体刻蚀机经台积电验证，性能优良，将用于全球首条5nm制程生产线。

2018年12月18日 14点12分 1

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开车李

坐等中国光刻机有所突破，前段时间新闻说可以做14nm了

2018年12月18日 14点12分 2

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俺是造纸的

加油

2018年12月18日 14点12分 3