level 10
精度控制工艺点
由于 3D 曲面 CG 玻璃需要和中框的完美结合,但是 3D 曲面 CG 玻璃本身物理加工又存在难以去除的公差,在进行曝光工艺加工时工艺误差区间被压缩,所以必须对以下几个方面公差进行综合控制:
a) CG成型公差
b) 掩膜板(MASK)成型公差
c) 掩膜版转印图形公差
d) CG与掩膜版定位偏差
e) 光源平行度
在曝光显影工艺中,只有对以上各种公差配合完全掌握,才能简单可靠完美的做出合格产品。
2017年10月06日 01点10分

