管试pecvd centrotherm设备问题

level 6

578950900 楼主

空管抽真空可以抽到底压，保压也没问题。可为什么进舟后抽真空就抽不动，一点都抽不动，是什么问题？有大神遇到过这情况么？求解，谢谢了

2016年01月12日 18点01分 1

level 9

haihao346

舟挡住气孔了？

2016年01月13日 00点01分 2

578950900

气孔在炉门口的。什么方法都试了，最后是调炉门位置调好的。不过我还是不能理解为什么有舟抽真空压力计一点都没反应，没有舟能抽得很好，居然能和炉门有关系

2016年01月13日 02点01分

level 7

看看电极处密封圈是不是好的，舟进去之后唯一会动的是电极。

2016年01月25日 13点01分 3

level 1

多开关炉门抽真空试试如果真是炉门问题有可能有时关的好有时关不好

2016年07月31日 14点07分 4