管式PECVD
pecvd吧
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level 2
hhp1000 楼主
管式PECVD遇到翘片!!!!!!!色差!!!朋友们有招吗?
2008年07月01日 13点07分 1
level 2
hhp1000 楼主
从事这个行业已三年了主攻CETC48管P,翘片色差头痛呀!平板不会出现翘片色差吧?必定是微波辉光嘛.
2008年07月01日 13点07分 2
工业微波技术🔯
你还是做这个行业吗？留个联系方式……互相交流
2018年04月03日 14点04分
🍒追逐
我也是这个行业的，可以拉我进交流群吗
2023年04月22日 13点04分
level 1
yds19871127
翘片如果是管式的话应该是插片没插好 或者是电压过大 色差当然是膜不均匀啊 和SIH4以及HF 温度有关了
2011年02月02日 05点02分 3
鸡蛋白菜萝卜汤
方便留个微信不
2021年06月03日 11点06分
level 3
光伏4号
你是工艺还是设备！色差这个工艺应该能解决的，
2015年02月15日 21点02分 5
level 2
果然多好多鱼
色差检查下流量计吧。
2015年12月30日 14点12分 6
level 1
有木有影视
色差的问题是个系统问题，制绒绒面，石墨舟，机台稳定性，硅片电阻率等都有可能导致色差，可以细聊哈！
2016年02月29日 14点02分 8
工业微波技术🔯
留个联系，我想跟你交流
2018年04月03日 14点04分
level 6
578950900
色差的话你看看做工艺的时候SIH4.NH3的流量波动大不大？更换流量计试试，换SIH4的时候一定要小心，手阀关了后吹扫半个小时以上再换。还有就是射频电源，看看功率和电流稳不稳定，试着改下占空比
2016年03月06日 01点03分 9
level 1
只为一次windy
如果PECVD出来的色差值不高，但是又需要再降低色差值，有没有可以不用返工的方法。临时处理一下的方法。
2019年04月17日 08点04分 12
工业微波技术🔯
你是哪家公司？
2019年04月21日 04点04分
level 1
我就想吃玉米
有没有谁家二手PECVD管式炉出售或者转让的？
2024年02月28日 03点02分 13
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