这是神马意思 - mems吧

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暖翎爽0D 楼主

结合相关知识，设计出深宽比为5:1的垂直侧壁沟槽阵列微结构，利用ANSYS模拟分析其电容量和电场分布。对MEMS电容器内部电场进行描述与仿真；

2015年05月31日 09点05分 1