石墨舟对PECVD有哪些影响?
pecvd吧
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小仙逍遥子
楼主
包括对"电场的分布,等离子体的产生,气流的走向,膜的品质,成膜压力,气体流量"等都有哪些影响?另石墨舟成膜的原理是什么?
2007年06月16日 02点06分
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221.224.59.*
这个问题很经典！顶吧！
2010年06月24日 12点06分
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372740178
不知道楼主说的是板式PECVD还是管式PECVD，不同的
2010年08月11日 04点08分
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wuyin6224028
这个问题问的好啊！ 作为生产石墨舟，石墨框的厂家，我还不清楚啊
2010年09月20日 05点09分
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