氮化硅一直在扮演两个角色：减反射膜和表面钝化层。这两个角色是同等重要的，但并不相容。问题还不止于此，氮化硅本身会吸收光而造成短路电流损失。所以氮化硅折射率高低的选择，要通过实验在这三者之间作折中，有时这种折中还要将硅片来料的质量考虑在内，即对不好的硅片，钝化效果要多倾斜一点。
目前有个好的方案，就是做双层膜。
在太阳能电池工艺中，pecvd相对来说是个比较稳定的工艺，除了设备故障，本身没有太多的工艺问题。

我们一直都是做双层膜

喵！楼主会CT机么？