求MEMS中的深反应离子刻蚀（DRIE）的详细步骤，条件，过程等
mems吧
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尛尛漫游
楼主
如题，求高手帮忙找找啊，反正详细点最好，概念什么的都懂。。。
2012年03月13日 14点03分
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一袖水木
DRIE 一般用的是ICP 只是 交替的通入了保护侧壁的气体 形成保护膜
2012年04月10日 13点04分
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