EUV HHG是极紫外（Extreme Ultraviolet, EUV）光源的产生技术之一——高次谐波产生（High-Harmonic Generation, HHG）。它是一项能将红外或可见光激光转换成极紫外甚至软X射线波段的关键技术。合肥皓宇芯光科技有限公司成立于2023年，专注于HHG EUV光源。其产品“鸑鷟”型号（10-100nm）和“鸿鹄”型号（1-10nm，软X射线）已实现商业化，输出功率达到1mW-1W水平，系统紧凑（885×420×233mm），稳定性高（12小时波动<4.3%），并成功应用于半导体检测等场景。但别指望他能量产芯片，但他能给我国的EUV光刻技术提供很多帮助。
HHG（高次谐波产生）技术目前无法直接替代主流EUV光刻机中的核心曝光光源，但它能从“旁门”切入，为EUV光刻机的研发、制造、良率提升和下一代技术突破提供至关重要的“辅助”和“赋能”作用。能在EUV光刻机生态系统的多个关键环节提供不可或缺的支持，其作用可以概括为“研发加速器”和“质量守护神”。
这么重要竟然没有讨论。。。。。

假的，没有被删帖，说明不是秘密，是网友瞎掰的

国产EUV去年就生产芯片了 美国人最近急得跳脚说是阿斯麦卖得

科研领域的突破多久才能商用?

我个人觉得真正的情况是我们科研人员在同步攻关干式DUV，湿法DUV，极紫外光EUV三种光刻机！至于各自的进度都是保密的，只有相关参与人员知情！但我个人相信迟早都会成功，并且会成为世界最好的！

现在流行谁敢说中国有可能领先，谁就会被围攻

就算是真的，这功率也太低了，没法直接用到芯片光刻

高次谐波能量很难做大的，不太看好。

欧美的还是以电子束检测为主。合肥这个算是世界领先的技术，只是功率偏低，量检测效率会受功率影响。其优点是小型化，精确度比电子束检测期望值高，可桌面部署，还可以同时部署多台套。

楼主总结的研发加速器，和质量守护神，确实总结的很贴切

这EUV光刻机，最重要配套设备之一。

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