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目前确实是一台SSA800工程样机在ICRD里测试中,这台SSA800样机是2025年9月份送进去的,到现在还躺在那里,只要他不从ICRD里出来就说明他还在测试中,这个流程起码要一年以上。测试完成后才开始做量产机,量产机做出来还要送去ICRD再跑一测试流程,流程跑完后才能进晶圆厂。乐观点最快2028年底官宣。所以目前国产光刻机什么情况没人比ICRD更清楚
2026年05月21日 18点05分
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你这个消息源可靠吗?我记得2024年光刻技术研讨会就说国产浸润式duv已经在"测试中"了,怎么可能去年才送进测试中心?而且去年9月金融时报里说"早期测试结果乐观",说明已经测试过一段时间了,怎么会是9月送进去的呢?你这不会是三无消息源吧?
2026年05月22日 01点05分
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十几年,几千亿,今天EUV突破,明天光刻厂建立,时时刻刻有进步,月月年年吹牛逼。试问可曾量产?仍是测试样机。
2026年05月22日 07点05分
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另外,金融时报明确光刻机是送到了中芯国际,并非ICRD
2026年05月22日 01点05分
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宇量昇的duvi都是25年初送去中芯国际测试的这个国外早就有报道过了,SSA800只会更早,但是SSA800应该是不太会量产,smee现在都不做DUVi了,现在只能看宇量昇的了
2026年05月22日 02点05分
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@zoenders 你连宇量昇在做浸润式光刻机都不了解,那真没必要在说什么爆料了
2026年05月22日 07点05分
@zoenders 你这又是哪里的消息源?宇量昇不做光刻机做什么?
2026年05月22日 05点05分
上微已经把DUV转让给了宇量昇,今年宇量昇给中芯的已经是第二代,上微不会再做DUV 了,他们现在专注做EUV,一般上微的机器都是在ICRD进行测试的,ICRD就是华虹与中芯专门成立的测试设备与基础工艺的机构,到中芯测试已经是量产的测试了,
2026年05月22日 13点05分
人家来套情报的,楼上几个泄露太多了
2026年05月22日 23点05分
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这个已经是第二代的了,第一代DUV早在23年就试产了,分辨率35,套刻精度2.5,现在的第二代应该达到了分辨率28,套刻1.5的左右,
2026年05月22日 03点05分
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@咎兴朝05Z 不是,都是全新设计的,只不过第一代的精度就是上不去而以,现在上微已经与华为成立了合资公司宇量昇,DUV已经转到了宇量昇,25年曝出来在中芯试产的就是第二代了,,
2026年05月22日 13点05分
@cy1673 不清楚,不过DUV应该无法进行大幅度的性能提高,达到最初的设计标准就算非常不错了,比较难提高的是工件台的精度,,
2026年05月22日 13点05分
第二代na2
2026年05月22日 12点05分
第一代DUV是魔改
2026年05月22日 12点05分