PECVD镀膜机一般抽到多少真空度 ？？
pecvd吧
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wodePECVD
楼主
小弟想请教下各位高手：PECVD镀膜机一般抽到多少真空度
2011年04月29日 04点04分
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轩cwj
本地真空度7*10-5，一般抽到10-4就可以了
2011年05月06日 01点05分
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level 1
pvdcvd
同意
2011年08月24日 01点08分
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level 1
difyao521
哪种 国产还是国外的
2011年09月18日 11点09分
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