《微纳电子工艺实验》（清华集成电路学院）
清华本科实验大纲，含超净间操作、设备原理、MOSFET 完整流程、电学测试
链接：https://www.ime.tsinghua.edu.cn/rcpy/bkspy/kcsz.htm
《微电子学实验教程》（PDF 版）
经典实验合集：四探针测电阻率、霍尔效应、C-V/I-V 测试、结深测量、MOS 参提取
下载：https://m.book118.com/html/2019/1107/711403234002101.shtm

不是每节课都会直接发个文档吗，直接copy